中空双轴高精密线轨运动台

[ 时间：2022-08-31 10:08:21 ]

详细信息

产品用途:

中空双轴精密运动台，满足高速度，高加速度，高精度的产品定制需求，适用于LED封装检测、激光加工、屏幕检测、CCD成像、三维形貌等高端制造业。

产品特性：

•高刚性设计：
高刚性的基台及导轨系统专门为大负载而设计,同时选用大推力直线电机增强动力。
•高精度直线导轨：
进口高刚性直线导轨，可保证产品长期稳定的精度,同时汉江精密专业的技术团队和检测设备可将直线导轨的性能发挥到极致，满足高直线度低偏航角的用户需求。
•尺寸稳定性高：
采用低膨胀系数、低吸水率的花岗石基台，可获得极高的尺寸稳定性和吸振性能。

技术参数：

名称	X轴	Y轴
行程	300mm	300mm
速度	500mm/s	500mm/s
加速度	1g	1g
平面度	±1.5μm	±1.5μm
直线度	±2.5μm	±2.5μm
正交	±5arcsec	±5arcsec
重复定位精度	0.2μm	0.2μm
定位精度（补偿后）	1μm	1μm