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双轴精密运动台，满足高速度，高加速度，高精度的产品定制需求，适用于玻璃薄片检测、LED封装检测、激光加工、屏幕检测，三维形貌等高端制造业。
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名称 |
X轴 |
Y轴 |
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行程 |
200mm |
300mm |
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最大速度 |
500mm/s |
500mm/s |
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最大加速度 |
1g |
1g |
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分辨率 |
100nm |
100nm |
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平面度 |
±1μm |
±1μm |
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直线度 |
±1μm |
±1μm |
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定位精度（补偿后） |
±1μm |
±1μm |
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重复定位精度 |
0.2μm |
0.2μm |
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垂直度 |
±4arcsec （X轴与Y轴垂直度） |
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