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三轴龙门精密运动台
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三轴龙门精密运动台

[ 时间：2022-08-31 10:08:25 ]
三轴龙门精密运动台}
  • 详细信息

  产品用途:

  满足高速高精度产品的定制需求，适用于玻璃薄片检测、三维成像等。

  产品特性：

  •X、Y、Z工作台，Z轴布置于平台大理石横梁；可实现微米级的重复定位和定位精度;
  •XY使用交叉滚珠导轨，低摩擦，高刚性，可实现亚微米级重复定位精度；
  •最大速度200mm/s,最大加速度0.5g;
  •单轴直线度可达±2μm,运动平面度可达±3μm；
  •直线电机驱动，光栅尺编码反馈。

  技术参数：

产品类型

HJCS-0250-0250-0150

名称

X

Y

Z

行程

250mm

250mm

150mm

分辨率

100nm

定位精度

±1μm

±3μm

重复定位精度

±0.5μm

±1μm

直线度

±2μm

±3μm

平面度

±3μm

±3μm

最大速度

200mm/s

200mm/s

100mm/s

最大加速度

0.5g

0.5g

最大负载

25kg

16kg

A

1140mm

B

1180mm

C

805mm


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