十字叠层精密运动台

产品类型

HJXY-0200-0200-NS01

HJXY-0300-0300-NS02

HJXY-0500-0400-NS03

行程

200mm x 200mm

300mm x 300mm

500mmx400mm

编码器

Sin-Cos

Sin-Cos

Sin-Cos

分辨率

100nm

100nm

100nm

定位精度

±1.0 μm

±2.0 μm

±2.0 μm

重复定位精度

±0.75 μm

±1 μm

±1 μm

直线度

±1.0 μm

±1.5 μm

±2.0 μm

平面度

±1.0 μm

±2.0 μm

±2.5 μm

横滚

±3arcsec

±4arcsec

±4.5arcsec

俯仰

±3arcsec

±4arcsec

±4.5arcsec

偏航

±3arcsec

±4arcsec

±4.5arcsec

最大速度

1000mm/s

1000mm/s

1000mm/s

最大加速度

1g

1g

1g

最大负载

50kg

50kg

50kg

A

558mm

660mm

860mm

B

558mm

660mm

760mm

C

193mm

215mm

230mm