五轴精密运动台

名称

X轴

Y轴

Z轴

B轴

c轴

行程

230mm

200mm

200mm

±100°

Nx360°

最大速度

1000mm/s

1000mm/s

1000mm/s

200rpm

200rpm

双向定位精度

1.2μm

1.2μm

1.2μm

12arcsec

12arcsec

双向重复定位精度

0.5μm

0.5μm

0.5μm

7arcsec

7arcsec

直线度

2.5μm

2.5μm

2.5μm

3μm （径向跳动）

3μm（径向跳动）

平面度

2.5μm

2.5μm

2.5μm

3μm （轴向跳动）

3μm （轴向跳动）