三轴高精密线规运动台

名称

X轴

Y轴

行程

550mm

550mm

分辨率

0.1 μm

0.1 μm

定位精度

±3.0 μm

±3.0 μm

重复定位精度

±1.0 μm

±1.0 μm

直线度

±2.0 μm

±2.0 μm

平面度

+2.0 μm

±2.0 μm

最大速度

1000mm/s

1000mm/s

最大加速度

1.0g

1.0g

最大负载

Z+5kg

X+Z+5kg

正交性

±5.0 μm(XY)