双轴线轨运动台

名称

X轴

Y轴

行程

200mm

200mm

分辨率

1nm

定位精度

±0.5μm

重复定位精度

±0.1 μm

直线度

±1.5 μm

平面度

±1.5μm

正交性

5 arc sec

速度稳定性

±0.1%100mm/s

反馈噪声

±15nm

最大速度

200mm/s

最大加速度

0.5g

最大负载

20kg

A

473mm

B

426mm

C

117.5mm