四轴精密运动台

[ 时间：2022-08-31 10:08:18 ]

详细信息

产品用途：

四轴精密度线轨运动台，满足高速、高加速、高精度的产品定制需求，适用于OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、三维形貌等高端制造行业。

产品特性：

•X、Y、Z工作台，直驱电机驱动可实现360°角度旋转，Z轴布置于平台大理石横梁, 直线电机驱动垂向运动；配套平衡气缸支撑，防止断电掉落；
•亚微米级重复定位精度；
•最大速度1000mm/s,最大加速度1g;
•单轴直线度可达±1.5μm,运动平面度可达±2.0μm;
•X、牌轴正交性可达±2.0μm；
•直线电机驱动，光栅尺编码反馈。

技术参数：

产品类型	HJYZ-0350-0300-0100-360	HJYZ-0500-0400-0100-360
行程	350mm x 300mm x 100 mm -360°	500mm x400mm x 100 mm-360°
分辨率	100nm	100nm
定位精度	+ 1.0μm	±2.0μm
重复定位精度	±0.75μm	±1μm
直线度	± 1.0μm	±1.5μm
平面度	± 1.0μm	±2.0μm
横滚	±3arcsec	±4arcsec
俯仰	+3arcsec	±4arcsec
偏航	+3arcsec	±4arcsec
最大速度	1000mm/s	1000mm/s
旋转重复精度	±0.57arcsec	±0.57arcsec
最大加速度	1g	1g
最大负载	50kg	50kg
A	1200mm	1250mm
B	900mm	1000mm
C	895mm	895mm