三轴精密运动台

产品类型

HJYZ-0300-0200-005

HJYZ-0400-0300-005

行程

300mm x 200mm x 5mm

400mm x 300mm x 5mm

分辨率

0.3nm

0.3nm

定位精度

0.5μm

0.5μm

重复定位精度

±0.1μm

±0.1μm

直线度

3μm

3μm

平面度

3μm

3μm

横滚

±3arcsec

±3arcsec

俯仰

±3arcsec

±3arcsec

偏航

+3arcsec

±3arcsec

最大速度

1000mm/s

1000mm/s

最大加速度

2g

2g

最大负载

10kg

10kg

A

650mm

750mm

B

600mm

700mm

C

255mm

255mm