双Z轴精密运动台

[ 时间：2022-08-31 10:08:20 ]

详细信息

产品用途：

双Z轴六轴精密运动台，满足高速度、高加速度、高精度的产品定制需求。适用于玻璃薄片检测、玻璃切割、激光加工、屏幕检测、CCD成像、三维形貌等高端制造业。

产品特性：

• X、Y、θ1、θ2、Z1、Z2,直驱电机驱动，保证高速度高加速度和亚微米级精度，XY 直线电机驱动，θ1、θ2直驱DD马达驱动，Z1、Z2直线电机驱动配备平衡气缸，断电保护。
•最大速度1000mm/s,加速度1g;
•旋转轴重复定位精度1 arcsec;
•XY正交2arcsec;
•高精度光栅尺反馈。

技术参数：

名称	X轴	Y轴	Z1轴	Z2轴	A轴	c轴
行程	600mm	400mm	230mm	150mm	190°	360°
最大速度	600m m/s	600mm/s	200m m/s	200mm/s	300rpm	300rpm
加速度	0.5g	0.5g	0.5g	0.5g	―	―
平面度	5 μm	3 μm	5 μm	5 μm	10 μm（轴向跳动）	10 μm（轴向跳动）
直线度	±2 μm	±1 μm	±2 μm	± 2 μm	10 μm（径向跳动）	10 μm（径向跳动）
分辨率	100nm	100nm	100nm	100nm	—	―
重复定位精度	±0.75 μm	±0.75 μm	±1 μm	+ 1 μm	±3arcsec	±3arcsec
定位精度（补偿后）	±1.5 μm	±1.5 μm	±5 μm	±5 μm	±8arcsec	±8arcsec