五轴龙门超精密气浮运动台

产品类型

HJSK-0350-0300-0150-0150-360

HJSK-0400-0300-0150-0150-360

行程

350mm x 300mm x 150mm x150mm-360°

400mm x 300mm x150mm x150mm-360°

分辨率

0.3nm

0.3nm

定位精度

300nm

300nm

重复定位精度

±80nm

+80nm

直线度

±0.3μm

±0.3μm

平面度

±0.3μm

±0.3μm

横滚

±1 arcsec

±1 arcsec

俯仰

±1 arcsec

±1 arcsec

偏航

±1 arcsec

±1 arcsec

最大速度

1000mm/s

1000mm/s

旋转重复精度

±0.5arcsec

±0.5arcsec

最大加速度

4g

4g

最大负载

50kg

50kg

A

1150mm

1200mm

B

1300mm

1300mm

C

1215mm

1215mm