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超精密气浮运动台
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超精密气浮运动台

[ 时间：2022-08-31 10:08:24 ]
超精密气浮运动台}
  • 详细信息

  产品用途:

  超精密气浮运动台，采用标准化自主研发气浮模块，气浮刚度可达150N/μm。 满足高速、高加速、高精度的产品定制需求，适用于激光加工、芯片堆叠等半导体行业。

  产品特性：

  •载物台悬浮状态，完全无接触摩擦；
  •亚微米级定位、重复定位精度；
  •最大速度1000mm/s,最大加速度2g;
  •直线度、平面度可达±1.0μm；
  •速度均匀性极佳；
  •无导轨，没有油污。

  技术参数：

名称

X轴

Y轴

行程

300mm

300mm

重现精度

±50 nm

±50 nm

定位精度

±100 nm

±100 nm

最大速度

500mm/s

500mm/s

最大加速度

5000mm/s²

5000mm/s²

正交性

2arcsec

2arcsec

水平直线度

±1μm

±1μm

垂直直线度

±1μm

±1μm

负载

25kg


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