四轴龙门超精密气浮运动台

性能参数

X1/X2轴

Y轴

θ轴

行程

450mm

500mm

360°

参数

0.6m/s

1m/s

180%

加速度

1g

1.5g

—

直线度

2μm

1μm

—

XY垂直度

2μm/300mm

—

解析度

50nm

50nm

0.0001°

定位精度

±1μm/300mm

±1μm/300mm

--

重复定位精度

1μm

1μm

1μm

负载

—

12KG

8KG