超精密气浮直线运动台

  产品用途:

  采用直线电机驱动，利用空气弹性势能作为支撑导轨，具备好的动态性能和定位精度，最大空载速度1500mm/s，空载加速度可达1g，主要应用于大型光学透镜检测，半导体领域的缺陷检测，精密制造和封装，可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。

  产品特性：

  •非接触、零摩擦直驱气浮平台
  •高动态性能（截止频率大于120Hz）
  •磁预载空气轴承，零摩擦气浮平台
  •为高性能扫描和检测应用量身设计
  •分辨率1nm，重复定位精度±1 μm，定位精度±0.2 μm
  •气隙平均效应，直线度平面度可达±25μm/100mm
  •行程最可达500mm，带线缆管理选项
  •高精密零膨胀光栅反馈可选

  技术参数：

平台型号	HJQF165-50	HJQF165-100	HJQF165-200	HJQF165-300	HJQF165-400	HJQF165-500
有效行程	50 mm	100 mm	200 mm	300 mm	400 mm	500 mm
绝对定位精度	±0.2 μm	±0.2 μm	±0.3 μm	±0.3 μm	±0.4μm	±0.5 μm
双向重复定位精度	±0.1 μm	±0.1 μm	±0.1 μm	±0.2 μm	±0. 25μm	±0.3 μm
俯仰	±1 arc sec	±1.5 arc sec	±2.5 arc sec	±3 arc sec	±3.5 arc sec	±4 arc sec
偏摆	±1 arc sec	±1.5 arc sec	±2.5 arc sec	±3 arc sec	±3.5 arc sec	±4 arc sec
直线度	±0.3 µm	±0.5 µm	±0.6 µm	±0.75 µm	±1.5 µm	±2 µm
平面度	±0.3 µm	±0.5 µm	±0.6 µm	±0.75 µm	±1.5 µm	±2 µm
平台重量	13 kg	15 kg	18kg	23 kg	27kg	30 kg
最大水平负载	15 kg
分辨率	1 nm
最小步进量	10 nm
在位稳定性	±10 nm
最大速度	1500 mm/s
最大加速度	1 g
持续推力	41.2 N
峰值推力	243.7 N
工作气压	5.5 bar (建议干燥空气，滤水滤油，粉尘过滤到0.5μm以下)