双轴超精密气浮运动台
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双轴超精密气浮运动台

[ 时间:2022-08-31 10:08:51 ]
双轴超精密气浮运动台}
  • 详细信息

  产品用途:

  双轴超精密气浮运动台,采用有限元分析优化的结构和气浮轴承补偿设计技术,提高精度的同时,也提供了最高动态性能。广泛应用于半导体加工、检测,微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。

  产品特性:

  •采用碳化硅陶瓷气浮导轨,超性能精度
  •速度1m/s,加速度4g,快速的整定时间
  •Y轴双驱双龙门结构,承载能力强
  •可选光栅或激光干涉仪位置反馈
  •定位精度±0.15um,重复定位精度±75nm
  •根据需求可定制

  技术参数:

运动轴

X(扫描)

Y(步进)

X(扫描)

Y(步进)

X(扫描)

Y(步进)

行程(mm

400

400

500

500

600

600

定位精度(um

±0.15

±0.2

重复定位精度 (nm)

±75

±100

分辨率(nm

0.3

最大速度(m/s

1

加速度(g

4

直线度(um

±0.2

±0.3

±0.4

在位稳定性(nm

±5

最大负载(Kg

20


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