运动轴 |
X(扫描) |
Y(步进) |
X(扫描) |
Y(步进) |
X(扫描) |
Y(步进) |
行程(mm) |
400 |
400 |
500 |
500 |
600 |
600 |
定位精度(um) |
±0.15 |
±0.2 |
||||
重复定位精度 (nm) |
±75 |
±100 |
||||
分辨率(nm) |
0.3 |
|||||
最大速度(m/s) |
1 |
|||||
加速度(g) |
4 |
|||||
直线度(um) |
±0.2 |
±0.3 |
±0.4 |
|||
在位稳定性(nm) |
±5 |
|||||
最大负载(Kg) |
20 |
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