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大尺面多轴精密运动平台2
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大尺面多轴精密运动平台2

[ 时间：2022-08-31 10:08:43 ]
大尺面多轴精密运动平台2}
  • 详细信息

  产品用途:

  激光切割偏光片、去废设备stage工作台，应用于12-27英寸TFT-LCD显示面板切割。

  产品特性：

  •设备满足X+Y方向的位移运动，可实现X、Y高精度的步进扫描、切割运动；
  • X、Y采用高精度直线导轨、花岗岩大理石基座，低摩擦，保证了运动平面度和直线度；
  •有铁芯直线电机驱动，大推力，高负载，满动稳定性；
  •高分辨率光栅系统作位置反馈。

  技术参数：

名称

X1轴

X2轴

Y轴

速度

800mm/s

1000mm/s

1000mm/s

加速度

1g

1g

1g

行程

525mm

795mm

1550mm

重复疋位精度

±2μm

±2μm

±2μm

定位精度

±3μm

±3μm

±3μm

分辨率

0.1μm

0.1μm

0.1μm

直线度

±3μm/m

±3μm/m

±3μm/m

负载

30kg

40 kg

100kg

XY正交

±3 μm/m

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