大尺面多轴精密运动平台1

名称

X0-1 轴

YO-1 轴

Y2轴

Y3-4 轴

Z1-5 轴

行程

1900mm

1400mm

240mm

1400mm

12mm

最大速度

1000mm/s

1000mm/s

500mm/s

1000mm/s

-

加速度

5m/s

5m/s

2.5m/s

5m/s

50mm/s

平面度

±10 μm

±10μm

±10μm

±10μm

-

定位精度

±3pm/500mm

±10μm

±10 μm

±10 μm

0.2μm

全行程±8μm

重复定位精度

±1pm

±1μm

±1μm

±1μm

±0.1 μm

直线度

±2pm/200mm

±10μm

±12μm

±10μm

-

全行程±10μm

速度波动

0.2%120mm/s

-

-

-

-