HJAA气浮高直线度高精度系列

产品类型

HJAA-0300

HJAA-0500

HJAA-0600

HJAA-0800

HJAA-1000

行程

300mm

500mm

600mm

800mm

1000mm

电机推力

连续：140N 峰值：480N

编码器

50nm

分辨率

50nm

定位精度

±1μm

±1μm

±1μm

±1.5 μm

±2μm

重复定位精度

±0.2μm

±0.2 μm

±0.3μm

±0.4μm

±0.5 μm

直线度

±2μm

±2μm

±3μm

±4μm

±5μm

平面度

±2μm

±2μm

±3μm

±4μm

±5μm

横滚

3arcsec

3arcsec

3arcsec

4arcsec

5arcsec

俯仰

3arcsec

3arcsec

3arcsec

4arcsec

5arcsec

偏航

3arcsec

3arcsec

3arcsec

4arcsec

5arcsec

最大速度

2m/s

最频速度

4g （空载）

最大负载

30kg

A （平台长度）

722mm

922mm

1082mm

1262mm

1402mm

Sx150 （安装孔长度）

4x150

5x150

6x150

7x150

8x150

N（安装孔数量）

10

12

14

16

18